Zobrazeno 1 - 7
of 7
pro vyhledávání: '"Shabelnikova, Ya. L."'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Shabelnikova, Ya. L.1 (AUTHOR) janeshabeln@yandex.ru, Zaitsev, S. I.1 (AUTHOR) bachokg@gmail.com, Gusseinov, N.2 (AUTHOR) solar_neo@mail.ru, Gabdullin, M.3 (AUTHOR) gabdullin@physics.kz, Muratov, M. M.2 (AUTHOR) mukhit.muratov@gmail.com
Publikováno v:
Semiconductors. 2020, Vol. 54 Issue 14, p1854-1857. 4p.
Autor:
Shabelnikova, Ya. L., Zaitsev, S. I.
Publikováno v:
Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron & Neutron Techniques; Aug2022, Vol. 16 Issue 4, p605-610, 6p
Publikováno v:
Technical Physics. 92:919
The energy deposited in resist during its exposure by ion beam was simulated for ions from a set of rare gases and for gallium. It was shown that the distribution of energy density can be approximated by the product of two Gaussian functions. One of
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::75240a7ff389423515ad2faa5db1f7c9
https://doi.org/10.21883/tp.2022.08.54550.104-22
https://doi.org/10.21883/tp.2022.08.54550.104-22
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Ivanov, D. A., Chukalina, M. V., Ingacheva, A. S., Buzmakov, A. V., Krivonosov, Yu. S., Shabelnikova, Ya. L., Nikolaev, D. P.
Publikováno v:
Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron & Neutron Techniques; Sep2020, Vol. 14 Issue 5, p978-990, 13p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.