Zobrazeno 1 - 10 of 52 pro vyhledávání: '"Sen, Vasily"'
1
Report
Wet Scandium Etching for hard mask formation on a silicon substrate
Autor: Bondareva, Julia, Timofeeva, Ekaterina, Anikanov, Alexandr, Krasilnikov, Maxim, Shibalov, Maxim, Sen, Vasily, Mumlyakov, Alexander, Evlashin, Stanislav, Tarkhov, Mikhail
Nowadays, microelectronics and nanoelectronics require the search for new materials, including masks for creating structures. Today, the intermediate hard mask strategy is one of the key issues in achieving a good balance between lithography and etch
Externí odkaz: http://arxiv.org/abs/2110.13639
Zobrazit plný text záznamu
6
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
7
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
8
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
9
Akademický článek
Amphiphilic chitosan–polyaminoxyls loaded with daunorubicin: Synthesis, antioxidant activity, and drug delivery capacity.
Autor: Sen', Vasily D.1,2 (AUTHOR) senvd@icp.ac.ru, Balakina, Anastasiya A.1 (AUTHOR), Stupina, Tatyana S.1 (AUTHOR), Mumyatova, Victoriya A.1 (AUTHOR), Kulikov, Alexander V.1 (AUTHOR), Tikhonov, Ivan V.2 (AUTHOR), Terent'ev, Alexei A.1,2 (AUTHOR), Pliss, Evgeny M.2 (AUTHOR)
Publikováno v: International Journal of Biological Macromolecules. Dec2021:Part A, Vol. 193, p965-979. 15p.
Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje