Zobrazeno 1 - 10
of 20
pro vyhledávání: '"Scott Arsenault"'
Publikováno v:
2017 28th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC).
A chronic NPN Bipolar ICEO leakage failure mode on a BiCMOS (B+) process was revealed to be caused by marginality in the CMOS oxide spacer film deposition process. It has been shown that residual carbon in the PETEOS spacer oxide film generated defec
Autor:
Scott Ruby, Akshey Sehgal, J. Klatt, Thanas Budri, Jamal Ramdani, Paul Allard, Scott Arsenault, Wibo van Noort, Albert Schnieders
Publikováno v:
Surface and Interface Analysis. 43:609-611
D & TOF-SIMS instruments are used in conjunction with other analytical techniques in order to identify the sources of metallic contamination and particle-type defects. In this paper D & ToF-SIMS are used to identify metals in the P-type buried layer
Autor:
Scott Arsenault, Neal T. Sullivan
Publikováno v:
SPIE Proceedings.
A method for effectively utilizing a Scanning Electron Microscope (SEM) for defect review and identification of unpatterned silicon particle wafers, following inspection on a laser-scanning defect inspection tool, is presented. The method involves pr
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
IEEE/SEMI 1996 Advanced Semiconductor Manufacturing Conference & Workshop Theme-Innovative Approaches to Growth in the Semiconductor Industry ASMC 96 Proceedings; 1996, p404-408, 5p
Publikováno v:
Proceedings of 1994 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference & Workshop (ASMC); 1994, p323-334, 12p
Autor:
Sullivan, N., Arsenault, S.
Publikováno v:
Proceedings of 1994 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference & Workshop (ASMC); 1994, p293-296, 4p
Publikováno v:
American Digger; Jan/Feb2014, Vol. 10 Issue 1, p12-23, 12p
Publikováno v:
New York Times. 8/3/2014, Vol. 163 Issue 56582, Sunday Styles p11-12. 2p.