Zobrazeno 1 - 10
of 286
pro vyhledávání: '"Scanning helium ion microscope"'
Autor:
Augustus K. W. Chee
Publikováno v:
IEEE Transactions on Electron Devices. 66:4883-4887
Dopant mapping using secondary electrons (SEs) in the scanning helium ion microscope is correlated with the surface charge distributions and electron inelastic mean free path. Numerical results show that the doping contrast is mainly a function of bu
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Keiko Onishi, Daisuke Fujita
Publikováno v:
Compendium of Surface and Interface Analysis ISBN: 9789811061554
Characterization of Materials
Characterization of Materials
Scanning helium ion microscope (SHIM) is based on the similar principle with field emission scanning electron microscope (FE-SEM) (Guo in Scanning Helium Ion Microscopy, Characterization of Materials. Wiley, pp. 1–9, 2012 [1]). The difference betwe
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::029b79e1b17a3680ab80f9fdc8cdbe06
https://doi.org/10.1007/978-981-10-6156-1_92
https://doi.org/10.1007/978-981-10-6156-1_92
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques. 4:792-795
The principles and features of operation of a scanning helium microscope are reviewed briefly. The measurement data on the energy distribution of secondary electrons excited by the ion beam in an Au film and on the angular dependence of the backscatt
Autor:
Augustus Chee
Publikováno v:
2014 12th IEEE International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology (ICSICT).
Compared to scanning electron microscope (SEM) dopant contrast where energy filtering is required, this paper reports for the first time strong contrast from donor distributions using the scanning helium ion microscope (SHIM) that can be used to map
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Yu. V. Petrov
Publikováno v:
Nauka ta innovacii. 8:23-25
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Lu Chang Qin, Lewis Stern, Adam R. Hall, Colin A. Sanford, J. Yang, Jason Huang, David C. Ferranti, Zheng Ren
Publikováno v:
Nanotechnology. 22(28)
We report the formation of solid-state nanopores using a scanning helium ion microscope. The fabrication process offers the advantage of high sample throughput along with fine control over nanopore dimensions, producing single pores with diameters be