Zobrazeno 1 - 5
of 5
pro vyhledávání: '"Sangya Jain"'
Autor:
James A. McCaulley, Dinesh N. Khanna, Ping H. Lu, Sangya Jain, Subhankar Chatterjee, Joseph J. Rafalko, Robert E. Potvin
Publikováno v:
Polymer Engineering and Science. 32:1571-1577
t-Boc protected Deep-UV transparent polymers with photoacid generators have been widely investigated as potential positive deep-UV resist systems. However, utility of these systems is seriously handicapped by environmental contaminants leading to an
Autor:
Dinesh N. Khanna, M Rahman, Nicholas K. Eib, Marina V. Plat, Stanley A. Ficner, Ralph R. Dammel, Sangya Jain, Christopher F. Lyons, William R. Brunsvold, Ping-Hung Lu, Steve Seiichi Miura, O. B. Evans
Publikováno v:
Scopus-Elsevier
The use of i-line lithography for the 16 to 64 Mbit DRAM device generations calls for increased performance of i-line resists. This paper reports on investigations on novel sensitizers for advanced i-line lithography, starting out with a discussion o
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::21e5fd3f174595b7fe9057c0008f8ab9
http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-0026491460&partnerID=MN8TOARS
http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-0026491460&partnerID=MN8TOARS
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.