Zobrazeno 1 - 10
of 133
pro vyhledávání: '"Sampurno, Y."'
Publikováno v:
In Microelectronic Engineering October 2012 98:70-73
Publikováno v:
In Advances in Chemical Mechanical Planarization (CMP) Edition: Second Edition. 2022:237-257
Autor:
Sampurno, Y., Philipossian, A., Linhart, A. N., Wortman-Otto, K. M., Tseng, W-T, Tamboli, D., Keleher, J. J.
Publikováno v:
ECS Journal of Solid State Science & Technology; Jun2021, Vol. 10 Issue 6, p263-272, 10p
Autor:
Aida, H., Baisie, E.A., Boning, D., Borucki, L., Cook, Lee, Fan, W., Schumacher-Härtwig, H., Krishnan, M., Künzelmann, U., Lagudu, Uma Ramesh Krishna, Lee, Kangchun, Li, Z.C., Lofaro, M.F., Moon, Y., Nalaskowski, J., Ong, P., Paik, Ungyu, Park, Jin-Goo, Pate, K., Penta, N.K., Philipossian, A., Yerriboina, Nagendra Prasad, Papa Rao, S.S., Roy, Dipankar, Safier, P., Sampurno, Y., Seo, Jihoon, Song, Z., Speed, D.E., Teugels, L., Theng, S., Tseng, Wei-Tsu, Tsujimura, M., Wang, L., Zhang, Q., Zhang, X.H., Zwicker, G.
Publikováno v:
In Advances in Chemical Mechanical Planarization (CMP) Edition: Second Edition. 2022:xi-xiii
Publikováno v:
ECS Journal of Solid State Science & Technology; 2020, Vol. 9 Issue 4, p1-13, 13p
Publikováno v:
ECS Journal of Solid State Science & Technology; 2020, Vol. 9 Issue 2, p1-10, 10p, 2 Charts, 12 Graphs
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
ECS Journal of Solid State Science & Technology; 2019, Vol. 8 Issue 11, pP704-P714, 11p
Publikováno v:
ECS Journal of Solid State Science & Technology; 2019, Vol. 8 Issue 10, pP634-P645, 12p
Publikováno v:
ECS Journal of Solid State Science & Technology; 2019, Vol. 8 Issue 5, pP3133-P3144, 12p