Zobrazeno 1 - 2 of 2 pro vyhledávání: '"Sakatani, Miho"'
1
Conference
Improving the measurement accuracy of pattern width and position of x-ray masks.
Autor: Uchiyama, Shingo, Oda, Masatoshi, Sakatani, Miho, Matsuda, Tadahito
Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov1998, Issue 1, p112-117, 6p
Zobrazit plný text záznamu
2
Conference
Improving stress stability of Ta film for x-ray mask absorbers.
Autor: Oda, Masatoshi, Sakatani, Miho, Uchiyama, Shingo, Matsuda, Tadahito
Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov1997, Issue 1, p245-250, 6p
Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje