Zobrazeno 1 - 2 of 2 pro vyhledávání: '"Sahafi, H.F."'
1
Periodical
The effect of process parameters on dc self-bias voltage in reactive ion etching of GaAs using CH4/H2
Autor: Sahafi, H.F., Webb, A.P., Carter, M.A., Goldspink, G.F.
Publikováno v: Microelectronics Journal; February 1994, Vol. 25 Issue: 1 p63-68, 6p
Zobrazit plný text záznamu
2
Akademický článek
Damage induced in p-GaAs due to RIE in CH4/H2 mixture.
Autor: Sahafi, H.F., Goldspink, G.F., Rezazadeh, A.A., Webb, A.P., Carter, M.A.
Publikováno v: Electronics Letters (Institution of Engineering & Technology); 12/03/1992, Vol. 28 Issue 25, p2300-2302, 3p
Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje