Zobrazeno 1 - 10
of 21
pro vyhledávání: '"SONOBAYASHI, Yutaka"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Teshima, Katsuya, Suzuki, Sayaka, Yubuta, Kunio, Sonobayashi, Yutaka, Suzuki, Takaomi, Shishido, Toetsu, Sugimura, Hiroyuki, Oishi, Shuji
Publikováno v:
In Surface & Coatings Technology 2008 203(5):812-815
Autor:
Sonobayashi, Yutaka
Publikováno v:
京都大学大学院工学研究科技術部報告集. 18:15-15
技術発表 (令和2年度工学研究科技術部技術室業務報告会)
本稿は「令和2年度工学研究科技術部技術室業務報告会発表予稿集」に掲載されたものです。
本稿は「令和2年度工学研究科技術部技術室業務報告会発表予稿集」に掲載されたものです。
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=jairo_______::c565b8dc46810de6102c5d994b30b819
http://hdl.handle.net/2433/264469
http://hdl.handle.net/2433/264469
Autor:
KOHAMA, Kazuyuki, ITO, Kazuhiro, SONOBAYASHI, Yutaka, OHMORI, Kazuyuki, MORI, Kenichi, MAEKAWA, Kazuyoshi, SHIRAI, Yasuharu, MURAKAMI, Masanori
Publikováno v:
電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス. 110(408):31-35
我々は, Cu(Ti)合金薄膜と誘電体層との界面反応を用いた「Ti基自己形成バリア」を検討してきた. 近年, Ti基自己形成バリアが45nmノードのデュアルダマシン配線形成プロセスに適用され, 従
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=jairo_______::0ca751a168d906f92408f7dcc5f2879c
http://hdl.handle.net/2433/193823
http://hdl.handle.net/2433/193823
Autor:
Ooka, Tadanori, Harada, Haruyuki, Yano, Takao, Sonobayashi, Yutaka, Kusuda, Yasunari, Chatani, Shotaro, Tamaki, Yoshitaka
Publikováno v:
京都大学工学研究科技術部報告集. 13:72-73
技術発表 (平成27年度 実験・実習技術研究会in 西京) ポスター発表
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=jairo_______::36ab8c4855dff47c04bb48c46bbc4b4f
http://hdl.handle.net/2433/215082
http://hdl.handle.net/2433/215082
Autor:
Arima, Hiroto, Okumura, Takahiro, Sonobayashi, Yutaka, Hinata, Ryoichi, Hirano, Yuichi, Fujihira, Takehisa
Publikováno v:
京都大学工学研究科技術部報告集. 12:60-60
平成26年度 北海道大学 総合技術研究会 : ポスター発表
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=jairo_______::f3aa816bb80b94a7a674c79b6e6944be
http://hdl.handle.net/2433/198307
http://hdl.handle.net/2433/198307
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Kohama, Kazuyuki, Ito, Kazuhiro, Sonobayashi, Yutaka, Ohmori, Kazuyuki, Mori, Kenichi, Maekawa, Kazuyoshi, Shirai, Yasuharu, Murakami, Masanori
Publikováno v:
Japanese Journal of Applied Physics; April 2011, Vol. 50 Issue: 4 p04DB03-04DB05, 3p