Zobrazeno 1 - 10
of 55
pro vyhledávání: '"S.R. Coon"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
S.R. Coon, Dieter M. Gruen, Z. Ma, Wallis F. Calaway, Michael J. Pellin, E. I. von Nagy‐Felsobuki
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 12:2425-2430
Secondary neutral and secondary ion cluster yields were measured during the sputtering of a polycrystalline indium surface by normally incident ∼4 keV Ar+ ions. In the secondary neutral mass spectra, indium clusters as large as In32 were observed.
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::847c59e6a70ab6513c4bdc12db8dfab3
https://doi.org/10.1116/1.579185
https://doi.org/10.1116/1.579185
Publikováno v:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 90:518-522
The sputtering of neutral metal clusters was investigated by measuring relative sputtering yields of copper clusters ejected from polycrystalline copper under 3.9 keV bombardment by Ne+, Ar+ and Xe+ ions at normal incidence. The yields of clusters fr
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::8038b0e03498da18dbcebf942677bb94
https://doi.org/10.1016/0168-583x(94)95606-5
https://doi.org/10.1016/0168-583x(94)95606-5
Autor:
M. Gordon, J. A. Knapp, Dieter M. Gruen, Alain C. Diebold, S.R. Coon, Wallis F. Calaway, Michael J. Pellin, J. C. Banks, P. Maillot
Publikováno v:
Surface and Interface Analysis. 21:131-137
The need for improved characterization of materials used in the fabrication of semiconductor devices has been driven by the semiconductor industry's desire to increase device densities on substrate. This need is reflected in the analytical surface sc
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::f8ffc106e0627d72f6a77cff987bc458
https://doi.org/10.1002/sia.740210211
https://doi.org/10.1002/sia.740210211
Publikováno v:
Surface Science. 298:161-172
Neutral copper and aluminum clusters containing up to 20 and 12 atoms, respectively, were observed in the sputtering of the polycrystalline metals by 3.75 or 3.9 keV Ar+ ions. The clusters were postionized by 6.4 eV photons from an ArF excimer laser
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::014afbb5c0e1f08bfa329187a9d275e9
https://doi.org/10.1016/0039-6028(93)90092-x
https://doi.org/10.1016/0039-6028(93)90092-x
Publikováno v:
Surface and Interface Analysis. 20:1007-1010
To assess the quantitative analytical capabilities of laser post-ionization of sputtered neutrals, the photoionization of sputtered Cu, Al and Ru atoms and clusters was investigated. By measuring velocity distributions using both resonant and non-res
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::f03fef47578d5fce0ccecaa18b0927b6
https://doi.org/10.1002/sia.740201212
https://doi.org/10.1002/sia.740201212
Publikováno v:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 82:329-336
Neutral aluminum clusters sputtered from polycrystalline aluminum were analyzed by laser postionization time-of-flight (TOF) mass spectrometry. The kinetic energy distributions of Al through Al 6 were measured by a time-of-flight technique. The inter
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::5e81b70cddc6f5df1f6aa29572dd6aba
https://doi.org/10.1016/0168-583x(93)96036-c
https://doi.org/10.1016/0168-583x(93)96036-c