Zobrazeno 1 - 7
of 7
pro vyhledávání: '"S.L. Luce"'
Autor:
I. Vitomirov, M.D. Gordon, Dana Dereus, Shawn J. Cunningham, Z.-X. He, N. Lai, Eric J. White, Jeffrey C. Maling, William J. Murphy, C. Gillman, S.L. Luce, B.K. Wong, Art Morris, A. K. Stamper, Christopher V. Jahnes
Publikováno v:
2012 Solid-State, Actuators, and Microsystems Workshop Technical Digest.
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::39f65663a9c8962c44431278159c1eb5
https://doi.org/10.31438/trf.hh2012.30
https://doi.org/10.31438/trf.hh2012.30
Publikováno v:
1999 4th International Symposium on Plasma Process-Induced Damage (IEEE Cat. No.99TH8395).
The increase in ratio of wiring RC delay to the intrinsic transistor RC delay is motivating the IC industry to move from subtractive-aluminum to damascene-copper wiring. In addition to having 40% lower sheet resistance, damascene copper has significa
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::d84156e5d521336e00354f9101a17bb9
https://doi.org/10.1109/ppid.1999.798841
https://doi.org/10.1109/ppid.1999.798841
Publikováno v:
IEEE/SEMI 1998 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop (Cat. No.98CH36168).
Historically, the semiconductor industry has made chip speed the focus of its high performance CMOS logic development strategy. For the wires and insulators used in the back-end-of-the-line (BEOL), this has driven the industry to use damascene tungst
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::0b9706074f035c470ad768c7dccc07ae
https://doi.org/10.1109/asmc.1998.731585
https://doi.org/10.1109/asmc.1998.731585
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.