Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"S.A. Furkay"'
Autor:
Paul Ronsheim, M.J. Saccamango, J.Y.-C. Sun, James H. Comfort, S. Verdonckt-Vandebroek, S. Ratanaphanyarat, Jeffrey B. Johnson, Phillip J. Restle, David L. Harame, A. Acovic, E. Ganin, S.A. Furkay, Stephan A. Cohen
Publikováno v:
International Electron Devices Meeting 1991 [Technical Digest].
A novel antimony-preamorphized phosphorus process (Sb/P) for NMOS source/drain formation is presented. It is demonstrated that very shallow ( >
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::44d6557b50fa57dc38688a002b41321f
https://doi.org/10.1109/iedm.1991.235389
https://doi.org/10.1109/iedm.1991.235389
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.