Zobrazeno 1 - 9
of 9
pro vyhledávání: '"S.-R. Won"'
Autor:
Kwan-Yong Lim, H.-S. Yang, Yong-Taik Kim, Seung-Woo Shin, W.-K. Ma, G.-H. Kim, Se-kyoung Choi, S.-R. Won, Kyeong-Keun Choi, Yong Soo Kim, Seung Ryong Lee, Whoi-Yul Kim, S.-A. Jang, J.-H. Han, H.-J. Cho, Y.-S. Chun, Y.-K. Jung, Tae-Un Youn, Se-Jun Kim, Yunbong Lee, Jin Kim, S.-Y. Koo, Min Gyu Sung, Seung-Ho Pyi, Kyungdo Kim, J.-K. Lee, T.-K. Oh, Y.-T. Hwang
Publikováno v:
2007 IEEE International Reliability Physics Symposium Proceedings. 45th Annual.
We compared WSix/WN and Ti/WN diffusion barriers for tungsten dual polymetal gate (W-DPG) application, in terms of device performance and gate oxide reliability. WSix/WN diffusion barrier shows degradation of gate oxide, which is found to be due to t
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::b171a493bc75ceb6146dd16b7ec200c0
https://doi.org/10.1109/relphy.2007.369975
https://doi.org/10.1109/relphy.2007.369975
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Kniha
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.