Zobrazeno 1 - 7
of 7
pro vyhledávání: '"S. Yanaga"'
Autor:
Soichiro Mitsui, Hideo Kusakabe, Toru Tojo, R. Hayashi, N. Kobayashi, S. Yanaga, Kiminobu Akeno, Shinsuke Nishimura, Munehiro Ogasawara, Mitsuko Shimizu, S. Yasuda
Publikováno v:
Microelectronic Engineering. :337-342
We have developed an environment-proof writing chamber for an electron beam mask writing system. The chamber is made of low thermal expansion metal. The measured size dependence on the chamber temperature is more than one order less than in the case
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::9cbce8415377f46e042d2e4305145feb
https://doi.org/10.1016/s0167-9317(02)00537-3
https://doi.org/10.1016/s0167-9317(02)00537-3
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Nihon seirigaku zasshi. Journal of the Physiological Society of Japan [Nihon Seirigaku Zasshi] 1974 Sep 01; Vol. 36 (8-9), pp. 390-1.