Zobrazeno 1 - 10
of 74
pro vyhledávání: '"S. Minomo"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Hiroyuki Suzuki, Kyoichi Okishio, Motohiro Tamiya, Shinji Atagi, Norio Okamoto, Taisuke Tsuji, Naoko Morishita, Ayako Tanaka, Akihiro Tamiya, N. Omachi, Nagahiro Saijo, T. Hirashima, S. Minomo, N. Takeuchi, Shuko Morita, Takayuki Shiroyama
Publikováno v:
Annals of Oncology. 28:x136
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 12:1068-1071
An electron‐cyclotron resonance plasma source that generates 500 mm wide plasma has been developed. The plasma is generated by a 2.45 GHz traveling microwave which is supplied through a long slot antenna prepared in the waveguide in a divergent mag
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 12:1241-1243
An electron cyclotron resonance (ECR) plasma source which generates 500‐mm‐wide plasma has been developed. A divergent magnetic field sufficient for ECR is generated by permanent magnets and a solenoid coil. A 2.45‐GHz traveling microwave is su
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Review of Scientific Instruments. 63:2547-2549
An automatic microwave stub tuner (AST) has been developed and used to characterize and stabilize an electron‐cyclotron resonance (ECR) plasma source. The tuner provides a new method for measuring plasma impedance dynamically without disturbing the