Zobrazeno 1 - 10
of 33
pro vyhledávání: '"S. Matham"'
Autor:
J. Demarest, B. Austin, J. Arjavac, M. Breton, M. Bergendahl, M. Biedrzycki, C. Boye, J. Gaudiello, J. Hager, S. Matham, K. Nguyen, M. Persala, S. Teehan
Publikováno v:
International Symposium for Testing and Failure Analysis.
Transmission electron microscopy (TEM) sample can be routinely made at a sub 30nm thickness and specific features in semiconductor device design are on the order of 30nm and smaller. As a result, small changes in pattern match registration can signif
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::2d85cdd8f5ff52de371fb7cb78e386a9
https://doi.org/10.31399/asm.cp.istfa2018p0238
https://doi.org/10.31399/asm.cp.istfa2018p0238
Autor:
Nam, Dao Duy1 (AUTHOR), Hong Hanh, Cao Thi1 (AUTHOR), Huyen, Nghiem Minh1 (AUTHOR), Van, Dieu-Anh1 (AUTHOR), Hung, Ha Vinh1 (AUTHOR), Trang, Vu Minh1 (AUTHOR), Minh, Vu Quang1 (AUTHOR), Ngoc, Nguyen Bich2 (AUTHOR), Thu Ha, Vu Thi2 (AUTHOR), Hai, Huynh Trung3 (AUTHOR) hai.huynhtrung@hust.edu.vn, Kordulis, Christos (AUTHOR)
Publikováno v:
Journal of Chemistry. 9/11/2024, Vol. 2024, p1-14. 14p.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Vu, Thu Ha Thi1 (AUTHOR), Lam, Thi Tho1 (AUTHOR), Dao, Duy Nam1,2 (AUTHOR), Van, Dieu Anh2 (AUTHOR), Huynh, Trung Hai2 (AUTHOR)
Publikováno v:
Journal of Chemistry. 5/8/2023, p1-11. 11p.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Journal of Physics D: Applied Physics; 6/28/2024, Vol. 57 Issue 25, p1-14, 14p