Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"S. Leseuil"'
Autor:
J. Todeschini, B. Icard, S. Manakli, M. Jurdit, Laurent Pain, Blandine Minghetti, S. Leseuil, K. Docherty
Publikováno v:
Japanese Journal of Applied Physics. 45:6462-6467
Summary form only given. After the last successful results obtained these last years, EBDW (E-beam direct write) use for ASIC manufacturing is now demonstrated. However, throughput and resolution capabilities need to be improved to push its interest
Autor:
S. Manakli, K. Docherty, L. Pain, J. Todeschini, M. Jurdit, B. Icard, S. Leseuil, B. Minghetti
Publikováno v:
Digest of Papers Microprocesses and Nanotechnology 2005.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.