Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Theoretical and experimental study of ScAlN/Sapphire structure based SAW sensor

Autor: F. Bartoli, M. Moutaouekkil, J. Streque, P. Pigeat, S. Hage-Ali, P. Boulet, H. M'Jahed, O. Elmazria, Sergei Zhgoon, T. Aubert, O. Bou Matar, A. Talbi

Publikováno v: 2017 IEEE SENSORS
2017 IEEE SENSORS, Oct 2017, Glasgow, United Kingdom. ⟨10.1109/ICSENS.2017.8233938⟩
2017 IEEE SENSORS, Oct 2017, Glasgow, France. ⟨10.1109/ICSENS.2017.8233938⟩

International audience; — Several SAW devices based on Sc 0.1 Al 0.9 N/Sapphire bilayer structures were fabricated using various wavelengths and film thicknesses. The acoustic velocity, electromechanical coupling coefficient and temperature coeffic

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::e3738e3b3c760bbca50aa71713c761b4
https://hal.science/hal-01692287

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.