Zobrazeno 1 - 10
of 23
pro vyhledávání: '"S. Fueki"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
CIRP Annals. 60:355-358
Abrasive water jet processes of glass are presented for crack-free machining of micro grooves and fluid polishing of micro channels with CFD analysis. In machining of the micro grooves, the abrasive is supplied to flow through intended machining area
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::6ca81953dec3cbd5a4faa2b4005b2dd5
https://doi.org/10.1016/j.cirp.2011.03.118
https://doi.org/10.1016/j.cirp.2011.03.118
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
S. Yamazaki, K. Kobayashi, K. Sakamoto, Yoshihisa Oae, H. Nishino, Hiroshi Yasuda, Akio Yamada, S. Sago, S. Fueki, T. Satoh, A. Ookura, Abe Tomohiko, A. Takemoto, M. Oono
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures. 11:2357
A block exposure system is developed to expose a 256 M DRAM pattern. Four mask deflectors deflect beams to select one of 48 blocks of stencil patterns in a 5 mm region in diameter on a mask. Each mask pattern is extracted as a unit of repetitions fro
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::66952e931198c124791f6b2b43bacd65
https://doi.org/10.1116/1.586986
https://doi.org/10.1116/1.586986
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.