Zobrazeno 1 - 6
of 6
pro vyhledávání: '"S. Fourment"'
Autor:
Gérard Sarrabayrouse, F. Lozes, S. Fourment, Philippe Arguel, S. Bonnefont, J. Jay, Yves Jourlin, Olivier Parriaux, J.-L. Noullet
Publikováno v:
Sensors and Actuators A: Physical. 110:294-300
This paper describes a compact and low cost micro-opto-electro-mechanical displacement sensor. Our purpose is the fabrication of a long range, nanometer resolved encoder using a standard CMOS technology, in order to integrate the optical metrology sy
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::d86ec7f42c757b928531bac6ac447fbb
https://doi.org/10.1016/j.sna.2003.10.067
https://doi.org/10.1016/j.sna.2003.10.067
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.