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Autor:
Françoise Bridou, X. Song, Solange Hubert, Mourad Idir, F. Delmotte, Ph. Troussel, Arnaud Jérôme, Ph. Zeitoun, Marie-Françoise Ravet, S. Boujdayane
Publikováno v:
Journal de Physique IV (Proceedings). 108:255-258
Nous presentons dans une premiere partie une etude de miroirs interferentiels multicouches composes de divers materiaux pour des longueurs d'onde de l'ordre de 30 nm. Les quatre systemes etudies, Mo/Si recouvert de Si ou de B 4 C, B 4 C/Si et Mo/B 4
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::9c070eb1da4b9ccbccd66a593090e284
https://doi.org/10.1051/jp4:20030638
https://doi.org/10.1051/jp4:20030638
