Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"S. Bos-Lorenzo"'
Publikováno v:
2003 5th International Conference on ASIC. Proceedings (IEEE Cat. No.03TH8690).
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::d9df399a3a41ba4c66fda5ec6c476fad
https://doi.org/10.1109/issm.2003.1243247
https://doi.org/10.1109/issm.2003.1243247
Publikováno v:
Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop, 2003 IEEEI/SEMI.
As the microelectronic industry is simultaneously shrinking design rules to 0.13 /spl mu/m and below and integrating copper technology, new defectivity challenges appear. The requirements associated with these technology nodes include the efficient i
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::9188cfc901be1cc88f80fc2ebbce3c83
https://doi.org/10.1109/asmc.2003.1194496
https://doi.org/10.1109/asmc.2003.1194496
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.