Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"Rykov, Aleksandr"'
Autor:
Filippov, Ivan, Anikanov, Alexandr, Rykov, Aleksandr, Mumlyakov, Alexander, Shibalov, Maksim, Trofimov, Igor, Porokhov, Nikolay, Anufriev, Yuriy, Tarkhov, Michael
This work focuses on the fabrication of niobium through silicon vias (TSV) superconductors interconnects. The effect of supercycle of sequential oxidation and chemical etching process on the through-etch wall quality was investigated. It was experime
Externí odkaz:
http://arxiv.org/abs/2308.06000
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.