Zobrazeno 1 - 10
of 28
pro vyhledávání: '"Rotondaro, Antonio"'
Publikováno v:
Diffusion and Defect Data Part B: Solid State Phenomena; August 2023, Vol. 346 Issue: 1 p117-122, 6p
Publikováno v:
In Handbook of Silicon Wafer Cleaning Technology Edition: Third Edition. 2018:305-377
Autor:
Sakazaki, Tetsuya, Kosugi, Hitoshi, Bassett, Derek W, Simms, Ihsan, Rotondaro, Antonio, Hurd, Trace
Publikováno v:
ECS Transactions; July 2019, Vol. 92 Issue: 2 p127-135, 9p
Autor:
Adamo, Cristina B., Flacker, Alexander, Cavalcanti, Hercilio M., Teixeira, Ricardo C., Rotondaro, Antonio L. P., Manera, Leandro T.
Publikováno v:
2015 IEEE International Symposium on Intelligent Control (ISIC); 2015, p1-4, 4p
Publikováno v:
2015 IEEE International Symposium on Intelligent Control (ISIC); 2015, p1-6, 6p
Autor:
Morais, Jonder, Rosa, Elisa Brod Oliveira da, Miotti, Leonardo, Pezzi, Rafael Peretti, Baumvol, Israel Jacob Rabin, Rotondaro, Antonio L.P., Bevan, M.J., Colombo, Luigi
Publikováno v:
Repositório Institucional da UFRGS
Universidade Federal do Rio Grande do Sul (UFRGS)
instacron:UFRGS
Universidade Federal do Rio Grande do Sul (UFRGS)
instacron:UFRGS
The effect of postdeposition annealing in vacuum and in dry O2 on the atomic transport and chemical stability of chemical vapor deposited ZrSixOy films on Si is investigated. Rutherford backscattering spectrometry, narrow nuclear resonance profiling,
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______3056::9765a028437611677a19dd0bc1c76d95
Autor:
Adamo, Cristina B., Flacker, Alexander, Freitas, Wilson, Teixeira, Ricardo C., da Silva, Michele O., Rotondaro, Antonio L. P.
Publikováno v:
2014 29th Symposium on Microelectronics Technology & Devices (SBMicro); 2014, p1-4, 4p
Autor:
Bassett, Derek, Rotondaro, Antonio
Publikováno v:
ECS Transactions; August 2017, Vol. 80 Issue: 2 p29-36, 8p
Publikováno v:
28th Symposium on Microelectronics Technology & Devices (SBMicro 2013); 2013, p1-4, 4p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.