Zobrazeno 1 - 10
of 10
pro vyhledávání: '"Rontu, Ville"'
Publikováno v:
In Journal of Alloys and Compounds 25 January 2019 772:306-313
Autor:
Rontu, Ville1 ville.rontu@aalto.fi, Selent, Anne2, Zhivonitko, Vladimir V.2,3,4, Scotti, Gianmario1, Koptyug, Igor V.3,4, Telkki, Ville ‐ Veikko2, Franssila, Sami1
Publikováno v:
Chemistry - A European Journal. 11/27/2017, Vol. 23 Issue 66, p16835-16842. 8p.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Rontu, Ville, Sippola, Perttu, Broas, Mikael, Ross, Glenn, Sajavaara, Timo, Lipsanen, Harri, Paulasto-Kröckel, Mervi, Franssila, Sami
The atomic layer deposition (ALD) of AlN from AlCl3 was investigated using a thermal process with NH3 and a plasma-enhanced (PE)ALD process with Ar/NH3 plasma. The growth was limited in the thermal process by the low reactivity of NH3, and impractica
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______1222::2f2190e7b310dc20c1befa20b1bacad5
http://urn.fi/URN:NBN:fi:jyu-201801241317
http://urn.fi/URN:NBN:fi:jyu-201801241317
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Puurunen, Riikka L., Ali, Saima, Arstila, Kai, Berdova, Maria, Haimi, Eero, Heikkinen, Hannele, Julin, Jaakko, Kilpi, Lauri, Laitinen, Mikko, Liu, Xuwen, Lyytinen, Jussi, Malm, Jari, Pyymaki-Perros, Alexander, Rontu, Ville, Sintonen, Sakari, Ylivaara, Oili, Sajavaara, Timo, Lipsanen, Harri, Franssila, Sami, Koskinen, Jari, Ronkainen, Helena, Hannula, Simo-Pekka, Kiihamäki, Jyrki
Publikováno v:
Puurunen, R L, Ali, S, Arstila, K, Berdova, M, Haimi, E, Heikkinen, H, Julin, J, Kilpi, L, Laitinen, M, Liu, X, Lyytinen, J, Malm, J, Pyymaki-Perros, A, Rontu, V, Sintonen, S, Ylivaara, O, Sajavaara, T, Lipsanen, H, Franssila, S, Koskinen, J, Ronkainen, H, Hannula, S-P & Kiihamäki, J 2015, Mechanical property mapping of ALD thin films . in Technical Program & Abstracts . American Vacuum Society (AVS), 13th International Baltic Conference on Atomic Layer Deposition, Baltic ALD 2015, Tartu, Estonia, 28/09/15 .
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=355e65625b88::f68ea465f348978099e21d2bc47f739d
https://cris.vtt.fi/en/publications/d7143751-1332-4e73-8f0b-9a397d66d07e
https://cris.vtt.fi/en/publications/d7143751-1332-4e73-8f0b-9a397d66d07e
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Liimatainen, Ville, Venalainen, Janne, Koverola, Mikko, Zhou, Quan, Lyytinen, Jussi, Koskinen, Jari, Rontu, Ville, Berdova, Maria, Franssila, Sami
Publikováno v:
2014 International Conference on Manipulation, Manufacturing & Measurement on the Nanoscale (3M-NANO); 2014, p23-27, 5p
Autor:
Rontu, Ville, Sippola, Perttu, Broas, Mikael, Ross, Glenn, Sajavaara, Timo, Lipsanen, Harri, Paulasto-Kröckel, Mervi, Franssila, Sami
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; Mar/Apr2018, Vol. 36 Issue 2, p1-1, 1p