Zobrazeno 1 - 4
of 4
pro vyhledávání: '"Rogovin, V. I."'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2006 Part 2, Issue 1, p62780F-62780F-4, 4p
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2003, Issue 1, p40-44, 5p
Autor:
Grigoriev, Y. A., Petrosyan, A. I., Penzyakov, V. V., Pimenov, V. G., Rogovin, V. I., Shesterkin, V. I., Kudryashov, V. P., Semyonov, V. C.
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1997, Vol. 15 Issue 2, p503-506, 4p