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Autor:
Pawlowski, Georg, Dammel, Ralph R., Lindley, Charlet R., Merrem, Hans-Joachim, Roeschert, Heinz, Lingnau, Juergen
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov1990, Issue 1, p16-25, 10p
Autor:
Pawlowski, Georg, Sauer, Thomas P., Dammel, Ralph R., Gordon, Douglas J., Hinsberg, William D., McKean, Dennis R., Lindley, Charlet R., Merrem, Hans-Joachim, Roeschert, Heinz, Vicari, Richard, Willson, C. Grant
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov1990, Issue 1, p391-400, 10p
Autor:
Pawlowski, Georg, Dammel, Ralph, Lindley, Charlet R., Merrem, Hans-Joachim, Röschert, Heinz, Wilharm, Peter
Publikováno v:
In Microelectronic Engineering 1990 11(1):491-495