Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"Ray Cybulski"'
Autor:
Donald G. Larson, Cynthia A. Maley, Hilary Heinmets, Palash P. Das, Igor V. Fomenkov, Ray Cybulski
Publikováno v:
SPIE Proceedings.
Chip makers are gearing up for 686-class micro-processors and 64 Mb production. These require producing < 0.30 micrometers critical features. They are also focusing on 256 Mb DRAMs that require below 0.25 micrometers design rules. Therefore, the shif
Autor:
Palash P. Das, Igor V. Fomenkov, Richard G. Morton, Ray Cybulski, Richard L. Sandstrom, Cynthia A. Maley, William N. Partlo
Publikováno v:
SPIE Proceedings.
In response to the requirement for higher wafer throughput and increased dosage accuracy in DUV lithography steppers and scanners, Cymer has developed a 1 kHz KrF laser optimized for this application. We shall describe its performance and design feat
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.