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Autor:
Ralf Schienbein, Florian Fern, Stefan Sinzinger, Shraddha Supreeti, Patrick Feßer, Martin Hoffmann
Publikováno v:
Nanomanufacturing and Metrology. 4:175-180
Uniform molding and demolding of structures on highly curved surfaces through conformal contact is a crucial yet often-overlooked aspect of nanoimprint lithography (NIL). This study describes the development of a NIL tool and its integration into a n
Autor:
Oliver Dannberg, Andreas Meister, Stephan Gorges, Tino Hausotte, Xinrui Cao, Taras Sasiuk, Ivo W. Rangelow, Johannes Kirchner, Johann Reger, Laura Mohr-Weidenfeller, Christoph Reuter, Stefan Sinzinger, Lena Zentner, Steffen Strehle, Roland Füßl, Eberhard Manske, Jaqueline Stauffenberg, Martin Hofmann, David Fischer, Ralf Schienbein, René Theska, Carsten Reinhardt, Shraddha Supreeti, Florian Fern, Thomas Fröhlich, Christoph Weise, Christoph Dr. Schäffel, Jens-Peter Zöllner, Ingo Ortlepp
Publikováno v:
Nanomanufacturing and Metrology. 4:132-148
The field of optical lithography is subject to intense research and has gained enormous improvement. However, the effort necessary for creating structures at the size of 20 nm and below is considerable using conventional technologies. This effort and
Publikováno v:
Nanomanufacturing and Metrology. 4:156-164
The majority of nanopositioning and nanomeasuring machines (NPMMs) are based on three independent linear movements in a Cartesian coordinate system. This in combination with the specific nature of sensors and tools limits the addressable part geometr
Autor:
Eberhard Manske, Johannes Leineweber, Roland Füßl, Ralf Schienbein, Ingo Ortlepp, René Theska, Florian Fern
Publikováno v:
tm - Technisches Messen. 88:61-70
Zusammenfassung Dieser Beitrag zeigt ein Konzept für eine fünfachsige Nano-Koordinatenmessmaschine zur Messung auf stark gekrümmten asphärischen und frei geformten optischen Oberflächen in einem Messvolumen von 25 mm × 25 mm × 5 mm 25\hspace{0
Publikováno v:
Nanomanufacturing and Metrology. 5:437-437
Autor:
René Theska, Michael Kühnel, Laura Weidenfeller, Florian Fern, Eberhard Manske, Ralf Schienbein, Roland Füßl
Publikováno v:
tm - Technisches Messen. 86:77-81
Zusammenfassung Dieses Paper zeigt einen möglichen Aufbau zur in situ Messung der Positionierabweichung von seriell angeordneten Rotationseinheiten mit einem konstanten, gemeinsamen Momentanpol. Mit Hilfe dieses Aufbaus kann die Position des letzten
Autor:
Eberhard Manske, Stefan Sinzinger, Rostyslav Mastylo, Ralf Schienbein, Uwe Gerhardt, Johannes Kirchner, Laura Weidenfeller, Florian Fern, Martin Hofmann, Taras Sasiuk
Publikováno v:
tm - Technisches Messen. 86:17-21
Zusammenfassung Mit der Entwicklung eines neuen Sensorsystems nach dem chromatisch konfokalen Prinzip erweitern sich die Anwendungsmöglichkeiten für Nano-Koordinatenmessmaschinen [8]. Unter Verwendung der im Institut für Prozessmess- und Sensortec
Publikováno v:
Advanced Fabrication Technologies for Micro/Nano Optics and Photonics XI.
Direct Laser Writing techniques like two-photon-polymerization or UV-lithography have become common tools for the micro- and nanofabrication of precise devices like photonic crystals. A decrease in the size of structures of special devices requires a