Zobrazeno 1 - 5
of 5
pro vyhledávání: '"Rahul, Sasikumar"'
Autor:
Sukjong Bae, Flip de Jong, Rik Nuyts, Rahul Sasikumar, Haifeng Yuan, Seongjune Min, Jin Choi, Sanghee Lee, Joonsoo Park, Johan Hofkens
Publikováno v:
Micro and Nano Engineering, Vol 19, Iss , Pp 100180- (2023)
The fabrication of highly qualified patterns for photomasks using an electron beam writer is one of the key methods to achieve the requirements for high-end semiconductor devices manufacturing. We demonstrate in-situ examination of morphology changes
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/c0251609fd034b55b5cde3fe0458f653
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
In this paper, we give an overview of different chemical modifications that can be done on the surface of two-dimensional (2D) layered materials. We place emphasis on the diversity of reactions that have been proposed and are now available to surface
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::a2e1b04f50bbc73e8f5939d208ad652b
https://lirias.kuleuven.be/handle/123456789/685355
https://lirias.kuleuven.be/handle/123456789/685355
Publikováno v:
International Journal of Engineering Research and.
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::9d2ee28e258e905cf05181554eaceb2c
https://doi.org/10.17577/ijertv9is070107
https://doi.org/10.17577/ijertv9is070107