Zobrazeno 1 - 4
of 4
pro vyhledávání: '"Rachidi, Sana"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Rachidi, Sana
Publikováno v:
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Grenoble Alpes [2020-..], 2020. Français. ⟨NNT : 2020GRALT030⟩
Maintaining high electronic properties while downscaling CMOS devices requires the integration of novel architectures and novel materials. Gate all around (GAA) architectures with Si0.7Ge0.3 as stacked nanochannel have emerged as a solution. This tec
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::8bdcc30500f34b52de7d551ef1a90094
https://theses.hal.science/tel-03097358
https://theses.hal.science/tel-03097358
Autor:
Rachidi, Sana, Campo, Alain, Loup, Virginie, Vizioz, Christian, Hartmann, Jean-Michel, Barnola, Sébastien, Posseme, Nicolas
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; May2020, Vol. 38 Issue 3, p1-12, 12p