Výsledky vyhledávání - "R.L.F. Chong"

The effect of germane variation on microstructure in polycrystalline Si/Si 1-x Ge x thin films grown by rapid thermal chemical vapour deposition: fractal characterisation using scanning probe microscopy

Autor: P.A. Campbell, D.G. Walmsley, R.L.F. Chong, D. Gay, H.S. Gamble, D.W. McNeill

Publikováno v: Applied Physics A: Materials Science & Processing. 66:S1067-S1071

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::405d20b0ef22675918f1b22becd913fa
https://doi.org/10.1007/s003390051299

Zobrazit plný text záznamu

The effect of germane variation on microstructure in polycrystalline Si/Si1-xGex thin films grown by rapid thermal chemical vapour deposition: fractal characterisation using scanning probe microscopy

Autor: P.A. Campbell, D.G. Walmsley, R.L.F. Chong, D. Gay, H.S. Gamble, D.W. McNeill

Publikováno v: Applied Physics A. 66:1067-1071

Gex. The layers were grown on oxidised silicon substrates using a rapid thermal chemical vapour deposition (RTCVD) reactor. Microstructural characteristics (roughness and grain size) were measured and their dependence on germane content to the gas fl

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::e5ee2c688689d9b3bb7443757c2f7132
https://doi.org/10.1007/pl00022817

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání