Zobrazeno 1 - 10
of 14
pro vyhledávání: '"R.G. Ridgeway"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
R. A. Roush, M. George, M.G. Grothaus, R.K. Hutcherson, R. Pearce, R.A. Korzekwa, S.E. Beck, M.W. Ingram, R.G. Ridgeway, R. Brown
Publikováno v:
Digest of Technical Papers. Tenth IEEE International Pulsed Power Conference.
A pulsed corona reactor (PCR) has been investigated for the abatement of a variety of hazardous gaseous compounds including volatile organic compounds, chlorofluorocarbons, perfluorinated compounds and oxides of nitrogen. In this technique, a series
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::d22280782e16c42b134e3c7d40a2282b
https://doi.org/10.1109/ppc.1995.596468
https://doi.org/10.1109/ppc.1995.596468
Autor:
R.G. Ridgeway
Publikováno v:
Proceedings of SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop.
Summary form only given, as follows. Recent attention focusing on semiconductor processing emissions has required the development of analytical methodology for quantifying unused process gases, characterizing and quantifying process by-products, and
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::811b1194ae6881d69f1543a022f26b7d
https://doi.org/10.1109/asmc.1995.484346
https://doi.org/10.1109/asmc.1995.484346
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.