Zobrazeno 1 - 10
of 248
pro vyhledávání: '"R.B. van Dover"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
R.B. van Dover, Vladislav Korenivski
Publikováno v:
7th Joint MMM-Intermag Conference. Abstracts (Cat. No.98CH36275).
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
R.B. van Dover, M.-Y. Ho, B. Brijs, Glen D. Wilk, Eric Garfunkel, B.W. Busch, J. M. Hergenrother, P. Kalavade, A. Kornblit, Steven James Hillenius, D. Monroe, F. Klemens, Martin L. Green, T. Gustafsson, T.W. Sorsch
Publikováno v:
2002 Symposium on VLSI Technology. Digest of Technical Papers (Cat. No.01CH37303).
We demonstrate for the first time that chemical oxide underlayers /spl sim/5 /spl Aring/ thick provide improved growth and flatband voltage control of ALD HfO/sub 2/ films compared to thermal oxides. Optimized annealing conditions are shown to greatl
Publikováno v:
International Electron Devices Meeting 1998. Technical Digest (Cat. No.98CH36217).
A new class of high dielectric constant materials is presented based on binary and ternary amorphous metal oxides. These films are compatible with low temperature processing and can be used with conventional metal electrodes like TiN. Metal alloys of
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.