Zobrazeno 1 - 8
of 8
pro vyhledávání: '"R. Thérèse"'
Autor:
R. Bouyssou, Sandra Bos, R. Thérèse, Johann Foucher, N. Chesneau, Guillaume Evin, Jerome Hazart, A. Largent, C. Dezauzier, Alexandre Dervillé
Publikováno v:
Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXVIII.
The manufacturing of next generation semiconductor devices forces metrology tool providers for an exceptional effort in order to meet the requirements for precision, accuracy and throughput stated in the ITRS. In the past years hybrid metrology (base
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::14c46976bebece271e9b57616938045b
https://doi.org/10.1117/12.2046484
https://doi.org/10.1117/12.2046484
Publikováno v:
SPIE Proceedings.
To fulfil advanced process control requirements for 1X node production, the semiconductor industry must cope with multiple parallel metrology requirements such as resolution, precision and accuracy enhancement in all directions to answer to new 3D in
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::7917b9d9f9a648c29d5df953c26a0834
https://doi.org/10.1117/12.2011463
https://doi.org/10.1117/12.2011463
Publikováno v:
SPIE Proceedings.
Introduction of new material stacks, more sophisticated design rules and complex 3D architectures in semiconductor technology has led to major metrology challenges by posing stringent measurement precision and accuracy requirements for various critic
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::7ee1715856d142026500552be9af3e9d
https://doi.org/10.1117/12.919650
https://doi.org/10.1117/12.919650
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.