Zobrazeno 1 - 10
of 18
pro vyhledávání: '"R. Sagnes"'
Publikováno v:
Bulletin des Sociétés Chimiques Belges. 99:147-166
We report a study on the hydrolytic instability of the oxygen-silicon bond of the following compounds: p-tert-butyldimethylsilyloxytoluene, p-trimethylsilyloxytoluene and poly(p-trimethylsilyloxystyrene). The instability occurs in an acidic media: HC
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::4399bb0ac3bbaf6dad5c93838123c436
https://doi.org/10.1002/bscb.19900990303
https://doi.org/10.1002/bscb.19900990303
Autor:
C. Rosilio, François Schué, N. Madit, Louis Giral, Claude Montginoul, J. C. Guibert, R. Sagnes
Publikováno v:
Bulletin des Sociétés Chimiques Belges. 101:15-28
This paper describes a positive resist formulation containing silylated polystyrene polymer, made photosensitive at wavelengths from 220 to 310 nm by means of an onium salt sensitizer ((C6H5)3SMXn) and at wavelengths from 360 to 450 nm by means of an
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::f6a4abf9f95d406965e1c3f88fd00799
https://doi.org/10.1002/bscb.19921010104
https://doi.org/10.1002/bscb.19921010104
Publikováno v:
ChemInform. 21
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::9a2b8dfe2edaccabe02a35ea0af082d7
https://doi.org/10.1002/chin.199036069
https://doi.org/10.1002/chin.199036069
Publikováno v:
Revue de Physique Appliquée
Revue de Physique Appliquée, Société française de physique / EDP, 1985, 20 (3), pp.143-149. ⟨10.1051/rphysap:01985002003014300⟩
Revue de Physique Appliquée, Société française de physique / EDP, 1985, 20 (3), pp.143-149. ⟨10.1051/rphysap:01985002003014300⟩
Les poly(parachlorométhylstyrène) et poly(parabromostyrène) présentent des propriétés lithographiques intéressantes sous irradiation électronique. Une sensibilité élevée, associée à de bonnes propriétés de résistance à la gravure pla
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::021111440b76f93358c55e9b217abfd3
https://doi.org/10.1051/rphysap:01985002003014300
https://doi.org/10.1051/rphysap:01985002003014300
Publikováno v:
Microelectronic Engineering. 5:315-319
Poly-4-bromostyrene (PBS) is shown to have desirable combination of properties, including high sensitivity and high resolution. As a consequence, it is a very attractive candidate for high performance electron beam lithography. The dependence of resi
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::5a12ff2551e2328eecf8cc54be2f150f
https://doi.org/10.1016/0167-9317(86)90059-6
https://doi.org/10.1016/0167-9317(86)90059-6
Publikováno v:
Microelectronic Engineering. 6:433-438
Polymers bearing tetrathiafulvalene groups have been tested under e-beam and UV irradiation. The dependence of resist sensitivity on molecular weight is reported. Resolution between 0,1 and 0, 4 μm were obtained. These polymers are shown to have des
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::0ae7f9bb01adb716b3663dc69497164c
https://doi.org/10.1016/0167-9317(87)90070-0
https://doi.org/10.1016/0167-9317(87)90070-0
Publikováno v:
Annales pharmaceutiques francaises. 43(5)
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=pmid________::51375969d1229b4dda6935c6104fdbe3
https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/3835834
https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/3835834
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.