Zobrazeno 1 - 10
of 14
pro vyhledávání: '"R. Langfeld"'
Publikováno v:
Applied Physics A Solids and Surfaces. 33:251-254
In (100)p-Si radiation damage was produced by implanting B+ ions with an energy of 80keV, 90keV and 1.6MeV. The specimens were annealed by scanned electronbeam irradiation (20keV, 1–2mAcm−2). The formation, evolution and annihilation of defects d
Autor:
R. Langfeld
Publikováno v:
Applied Physics A Solids and Surfaces. 44:107-110
We propose a new algorithm to obtain the energy and the capture cross section of a deep trap in the band gap of a semiconductor from deep-level transient spectroscopy (DLTS) measurements. This numerical method requires only a single temperature cycle
Publikováno v:
physica status solidi (a). 88:533-538
Polycrystalline silicon layers deposited without doping and afterwards implanted with arsenic or phosphorus show a strong increase of the sheet resistivity due to reactions between dopants and residual radiation damage during scanned electron beam an
Publikováno v:
Le Journal de Physique Colloques. 41:C4-47
Publikováno v:
International Journal of Electronics. 66:213-225
Detailed analysis of electron beam annealed Ge-WSi-Au and Ge-Ni-WSi-Au ohmic contacts is reported. Lower contact resistance values with better reproducibility and much lower standard deviation are achieved with Ni doped TLM devices. Ar+ ion X-ray pho
Publikováno v:
Physics Letters A. 82:148-150
As 2+ -ions have been implanted in n-Si single crystals with a {111} surface using ion energies of 3 MeV. We have investigated experimentally and theoretically laser induced annealing and diffusion of the buried profiles.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.