Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"R. Druihle"'
Publikováno v:
Journal of The Electrochemical Society. 144:694-697
The heteroepitaxial growth of Ge on (100) Si in a horizontal, atmospheric pressure metallorganic vapor-phase epitaxy reactor is reported using germane GeH{sub 4} (0.1% in H{sub 2}). A particularly crucial parameter for germanium deposition on silicon
Publikováno v:
ChemInform. 28
The heteroepitaxial growth of Ge on (100) Si in a horizontal, atmospheric pressure metallorganic vapor-phase epitaxy reactor is reported using germane GeH{sub 4} (0.1% in H{sub 2}). A particularly crucial parameter for germanium deposition on silicon
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.