Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"R. Caluwaert"'
Autor:
F. Sinapi, J.P.G. de Mussy, M. Delande, Gerald Beyer, R. Caluwaert, M. R. Baklanov, Fischer Paul B, Nancy Heylen, Youssef Travaly, Francesca Iacopi, Guy Vereecke, J. L. Hernandèz, Aurelie Humbert
Publikováno v:
Scopus-Elsevier
Surface hydrophilisation of pristine low-k (ULK) is known as a CMP-induced damage mechanism. This phenomenon already enhanced by several factors (e.g. mechanical polishing action, solid content in the slurry, pH of the slurry solution, presence of or
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::154ec61306bec55d6ef01a61ba22b854
https://doi.org/10.1109/iitc.2007.382379
https://doi.org/10.1109/iitc.2007.382379
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
