Zobrazeno 1 - 10
of 20
pro vyhledávání: '"R. Bonnot"'
Publikováno v:
Diamond and Related Materials. 6:1463-1466
We report on the relative results of dry etching 〈0001〉 Si-like or 〈000 1 〉 C-like oriented faces of bulk natural 6H-SiC Lely crystals. For comparison, a 6H epilayer from Cree Research Inc. was also investigated. In all three cases, the initi
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::faa31efa10a8785a03fdca7e4345384c
https://doi.org/10.1016/s0925-9635(97)00116-7
https://doi.org/10.1016/s0925-9635(97)00116-7
Publikováno v:
Materials Science and Engineering: B. 28:369-373
Silicon nitrite thin films were deposited by electron cyclotron resonance (ECR) plasma enhanced chemical vapor deposition on GaSb substrates using SiH 4 and N 2 gaseous sources. In order to obtain SiN x films able to bear stress during thermal proces
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::01273a71aa038bb1f3c5c022b942e47f
https://doi.org/10.1016/0921-5107(94)90085-x
https://doi.org/10.1016/0921-5107(94)90085-x
Publikováno v:
Sensors and Actuators
Sensors and Actuators, Elsevier, 2003, 103 (3), pp.359-363. ⟨10.1016/S0924-4247(02)00428-4⟩
Sensors and Actuators, Elsevier, 2003, 103 (3), pp.359-363. ⟨10.1016/S0924-4247(02)00428-4⟩
The techniques of micromachining silicon are used for the manufacturing of a thermal accelerometer. This sensor requires no solid proof mass and has a low cost production. A heating resistor creates a symmetrical temperature profile and two temperatu
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::3098c26263a0f6b03a4eecfe3e9ffaf4
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00327192
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00327192
Autor:
Alain Giani, Frédérick Mailly, A. Boyer, R. Bonnot, Frédérique Pascal-Delannoy, Alain Foucaran
Publikováno v:
Microelectronics Journal
Microelectronics Journal, Elsevier, 2002, 33 (8), pp.619-625. ⟨10.1016/S0026-2692(02)00039-3⟩
Microelectronics Journal, Elsevier, 2002, 33 (8), pp.619-625. ⟨10.1016/S0026-2692(02)00039-3⟩
International audience; This work presents a thermal model for thin film anemometers and shows the importance of the characteristic length of the heater in convection phenomena. The techniques of silicon micro-machining were used to manufacture an an
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::2fd266c6a4e18bdab10cc69a0807445d
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00324024
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00324024
Autor:
Pierre Temple-Boyer, Frédérick Mailly, Frédérique Pascal-Delannoy, Alain Giani, R. Bonnot, Alain Foucaran, A. Boyer
Publikováno v:
Sensors and Actuators A: Physical
Sensors and Actuators A: Physical, Elsevier, 2001, 94 (1-2), pp.32-38. ⟨10.1016/S0924-4247(01)00668-9⟩
Sensors and Actuators A: Physical, Elsevier, 2001, 94 (1-2), pp.32-38. ⟨10.1016/S0924-4247(01)00668-9⟩
International audience; The techniques of micromachining silicon are used for the manufacture of an anemometer with low electric consumption and great sensitivity. To reduce the energy consumption, a suspended membrane of silicon rich silicon nitride
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::98b640fb0e8aa2b6f7d18cd204b3ed74
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00323760
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00323760
Publikováno v:
Materials Science and Engineering: B
Materials Science and Engineering: B, Elsevier, 1991, 9 (1-3), pp.101-104. ⟨10.1016/0921-5107(91)90155-O⟩
Materials Science and Engineering: B, Elsevier, 1991, 9 (1-3), pp.101-104. ⟨10.1016/0921-5107(91)90155-O⟩
The study of lateral growth by metal-organic chemical vapour deposition (MOCVD) techniques is expected to yield information concerning the growth mechanisms of MOCVD. In the case of growing layers delimited by mask windows, the undesirable effect of
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::18c5e01920507d586a209965c62dd5ca
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-02048025
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-02048025
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
R, BONNOT
Publikováno v:
Journal de psychologie normale et pathologique. 53(3)
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=pmid________::1caaa3d269f6170b7db8969ddb2003d9
https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/13417169
https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/13417169
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.