Zobrazeno 1 - 8
of 8
pro vyhledávání: '"Quévy, Emmanuel"'
Autor:
San Paulo, Alvaro, Quevy, Emmanuel, Black, Justin, Howe, Roger T., White, Richard, Bokor, Jeffrey
Publikováno v:
In Microelectronic Engineering 2007 84(5):1354-1357
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
In Sensors & Actuators: A. Physical 2002 95(2):183-195
Autor:
Agache, Vincent, Quévy, Emmanuel, Millet, Olivier, Rollier, Anne-Sophie, Ringot, Roger, Collard, Dominique, Legrand, Bernard, Buchaillot, Lionel
Publikováno v:
Ecole Nanosciences
Ecole Nanosciences, 2005, Anglet, France
Ecole Nanosciences, 2005, Anglet, France
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::7c712b0e51bde5814a10f35140e40122
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00126215
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00126215
Publikováno v:
Proceedings of the SPIE-International Society for Optical Engineering, 4408
Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS 2001
Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS 2001, Apr 2001, Cannes, France. pp.344-359
Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS 2001
Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS 2001, Apr 2001, Cannes, France. pp.344-359
The novelty of our study lies in the first controlled use of the phenomenon of stiction to lock three-dimensional self- assembled polysilicon microstructures. The stiction refers to the permanent adhesion of the microstructures to adjacent surfaces.
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::3d888fdad55f4144085ba8930e8cce3a
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00152470
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00152470
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
IEEE Electron Device Letters; Aug2004, Vol. 25 Issue 8, p529-531, 3p, 2 Diagrams, 1 Graph