Zobrazeno 1 - 1 of 1 pro vyhledávání: '"Qin, Sun Hai"'
1
Akademický článek
Resist pattern peeling assessment in DUV chemically amplified resist
Autor: Mehta, Sohan Singh ∗, Qin, Sun Hai, Mukherjee-Roy, Moitreyee, Singh, Navab, Kumar, Rakesh
Publikováno v: In Microelectronics Journal May 2004 35(5):427-429
Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje