Zobrazeno 1 - 9
of 9
pro vyhledávání: '"Pyymaki Perros, Alexander"'
Autor:
Khayrudinov, Vladislav, Mäntynen, Henrik, Dhaka, Veer, Pyymaki Perros, Alexander, Haggren, Tuomas, Jussila, Henri, Lipsanen, Harri
Publikováno v:
In Journal of Crystal Growth 15 October 2020 548
Autor:
Hakola, Hanna, Pyymaki Perros, Alexander, Myllyperkiö, Pasi, Kurotobi, Kei, Lipsanen, Harri, Imahori, Hiroshi, Lemmetyinen, Helge, Tkachenko, Nikolai V.
Publikováno v:
In Chemical Physics Letters 30 January 2014 592:47-51
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Pyymaki-Perros, Alexander, Ylivaara, Oili, Liu, Xuwen, Julin, Jaakko, Sajavaara, Timo, Ali, Saima, Sintonen, Sakari, Lipsanen, Harri, Puurunen, Riikka L.
Publikováno v:
Pyymaki-Perros, A, Ylivaara, O, Liu, X, Julin, J, Sajavaara, T, Ali, S, Sintonen, S, Lipsanen, H & Puurunen, R L 2016, ' Study of processing parameters on the mechanical and compositional properties of plasma-enhanced atomic layer deposition aluminum nitride films ', 16th International Conference on Atomic Layer Deposition, ALD 2016, Dublin, Ireland, 24/07/16-27/07/16 .
The mechanical and compositional properties of plasma-enhanced atomic layer deposition (PEALD) AlN films were examined under varying processing parameters. The results of this initial study indicate deposition temperature, plasma chemistry, and incre
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=355e65625b88::094c893199d9f10dfd2d2f061b1217a6
https://cris.vtt.fi/en/publications/76cd9041-a284-4c0f-864b-247f47153e5b
https://cris.vtt.fi/en/publications/76cd9041-a284-4c0f-864b-247f47153e5b
Autor:
Aarik, Jaan, Ahvenniemi, Esko, Akbashev, Andrew R., Ali, Saima, Bechelany, Mikhael, Berdova, Maria, Cameron, David, Chekurov, Nikolai, Chubarov, Mikhail, Drozd, Viktor, Elliott, Simon, Gottardi, Gloria, Grigoras, Kestutis, Hwang, Cheol Seong, Junige, Marcel, Kallio, Tanja, Kanervo, Jaana, Khmelnitskiy, Ivan, Koshtyal, Yury, Krause, Outi, Kääriäinen, Marja-Leena, Kääriäinen, Tommi, Lamagna, Luca, Lipsanen, Harri, Lyytinen, Jussi, Malkov, Anatoly, Malygin, Anatoly, Molarius, Jyrki, Norek, Malgorzata, Ozgit-Akgun, Cagla, Panov, Mikhail, Pedersen, Henrik, Piallat, Fabien, Popov, Georgi, Puurunen, Riikka L., Pyymaki-Perros, Alexander, Ras, Robin H. A., Roozeboom, Fred, Sajavaara, Timo, Savin, Hele, Seidel, Thomas E., Sundberg, Pia, Sundqvist, Jonas, Suyatin, Dmitry, Tallarida, Massimo, Törndahl, Tobias, Utriainen, Mikko, van Ommen, J. Ruud, Wächtler, Thomas, Wiemer, Claudia, Ylivaara, Oili M. E., Yurkevich, Oksana
Publikováno v:
Aarik, J, Ahvenniemi, E, Akbashev, A R, Ali, S, Bechelany, M, Berdova, M, Cameron, D, Chekurov, N, Chubarov, M, Drozd, V, Elliott, S, Gottardi, G, Grigoras, K, Hwang, C S, Junige, M, Kallio, T, Kanervo, J, Khmelnitskiy, I, Koshtyal, Y, Krause, O, Kääriäinen, M-L, Kääriäinen, T, Lamagna, L, Lipsanen, H, Lyytinen, J, Malkov, A, Malygin, A, Molarius, J, Norek, M, Ozgit-Akgun, C, Panov, M, Pedersen, H, Piallat, F, Popov, G, Puurunen, R L, Pyymaki-Perros, A, Ras, R H A, Roozeboom, F, Sajavaara, T, Savin, H, Seidel, T E, Sundberg, P, Sundqvist, J, Suyatin, D, Tallarida, M, Törndahl, T, Utriainen, M, van Ommen, J R, Wächtler, T, Wiemer, C, Ylivaara, O M E & Yurkevich, O 2016, ' On the early history of atomic layer deposition : most significant works and applications ', 16th International Conference on Atomic Layer Deposition, ALD 2016, Dublin, Ireland, 24/07/16-27/07/16 .
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=355e65625b88::3b2b52ef81afcdd0edebc708b823184f
https://cris.vtt.fi/en/publications/03707523-8c1a-4bbc-8828-d8f850920e09
https://cris.vtt.fi/en/publications/03707523-8c1a-4bbc-8828-d8f850920e09
Autor:
Puurunen, Riikka L., Ali, Saima, Arstila, Kai, Berdova, Maria, Haimi, Eero, Heikkinen, Hannele, Julin, Jaakko, Kilpi, Lauri, Laitinen, Mikko, Liu, Xuwen, Lyytinen, Jussi, Malm, Jari, Pyymaki-Perros, Alexander, Rontu, Ville, Sintonen, Sakari, Ylivaara, Oili, Sajavaara, Timo, Lipsanen, Harri, Franssila, Sami, Koskinen, Jari, Ronkainen, Helena, Hannula, Simo-Pekka, Kiihamäki, Jyrki
Publikováno v:
Puurunen, R L, Ali, S, Arstila, K, Berdova, M, Haimi, E, Heikkinen, H, Julin, J, Kilpi, L, Laitinen, M, Liu, X, Lyytinen, J, Malm, J, Pyymaki-Perros, A, Rontu, V, Sintonen, S, Ylivaara, O, Sajavaara, T, Lipsanen, H, Franssila, S, Koskinen, J, Ronkainen, H, Hannula, S-P & Kiihamäki, J 2015, Mechanical property mapping of ALD thin films . in Technical Program & Abstracts . American Vacuum Society (AVS), 13th International Baltic Conference on Atomic Layer Deposition, Baltic ALD 2015, Tartu, Estonia, 28/09/15 .
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=355e65625b88::f68ea465f348978099e21d2bc47f739d
https://cris.vtt.fi/en/publications/d7143751-1332-4e73-8f0b-9a397d66d07e
https://cris.vtt.fi/en/publications/d7143751-1332-4e73-8f0b-9a397d66d07e
Autor:
Aarik, Jaan, Akbashev, Andrew, Bechelany, Mikhael, Berdova, Maria, Cameron, David, Chekurov, Nikolai, Drozd, Viktor, Elliott, Simon, Gottardi, Gloria, Grigoras, Kestutis, Junige, Marcel, Kallio, Tanja, Kanervo, Jaana, Koshtyal, Yury, Kääriäinen, Marja-Leena, Kääriäinen, Tommi, Lamagna, Luca, Malkov, Anatoly, Malygin, Anatoly, Molarius, Jyrki, Ozgit-Akgun, Cagla, Pedersen, Henrik, Puurunen, Riikka L., Pyymaki-Perros, Alexander, Ras, Robin H. A., Roozeboom, Fred, Sajavaara, Timo, Savin, Hele, Seidel, Thomas E., Sundberg, Pia, Sundqvist, Jonas, Tallarida, Massimo, van Ommen, J. Ruud, Wächtler, Thomas, Wiemer, Claudia, Ylivaara, Oili
Publikováno v:
Aarik, J, Akbashev, A, Bechelany, M, Berdova, M, Cameron, D, Chekurov, N, Drozd, V, Elliott, S, Gottardi, G, Grigoras, K, Junige, M, Kallio, T, Kanervo, J, Koshtyal, Y, Kääriäinen, M-L, Kääriäinen, T, Lamagna, L, Malkov, A, Malygin, A, Molarius, J, Ozgit-Akgun, C, Pedersen, H, Puurunen, R L, Pyymaki-Perros, A, Ras, R H A, Roozeboom, F, Sajavaara, T, Savin, H, Seidel, T E, Sundberg, P, Sundqvist, J, Tallarida, M, van Ommen, J R, Wächtler, T, Wiemer, C & Ylivaara, O 2014, On the early history of ALD : molecular layering . in Technical Program & Abstracts . American Vacuum Society (AVS), 14th International Conference on Atomic Layer Deposition, ALD 2014, Kyoto, Japan, 15/06/14 .
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=355e65625b88::c767df43230ee17d146f1778e5bd4503
https://cris.vtt.fi/en/publications/8d2e5275-37e9-4609-8e70-d274a09d35ab
https://cris.vtt.fi/en/publications/8d2e5275-37e9-4609-8e70-d274a09d35ab
Autor:
Sippola, Perttu, Lipsanen, Harri, Pyymaki Perros, Alexander, Ylivaara, Oili M. E., Ronkainen, Helena, Puurunen, Riikka L., Sajavaara, Timo, Julin, Jaakko, Liu, Xuwen, Etula, Jarkko
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; Sep2018, Vol. 36 Issue 5, pN.PAG-N.PAG, 11p
Autor:
Saarenpää, Hanna, Sariola-Leikas, Essi, Pyymaki Perros, Alexander, Kontio, Juha M., Efimov, Alexander, Hayashi, Hironobu, Lipsanen, Harri, Imahori, Hiroshi, Lemmetyinen, Helge, Tkachenko, Nikolai V.
Publikováno v:
The Journal of Physical Chemistry - Part C; January 2012, Vol. 116 Issue: 3 p2336-2343, 8p