Zobrazeno 1 - 5
of 5
pro vyhledávání: '"Proimadis, Ioannis"'
Growing demands in the semiconductor industry result in the need for enhanced performance of lithographic equipment. However, position tracking accuracy of high precision mechatronics is often limited by the presence of disturbance sources, which ori
Externí odkaz:
http://arxiv.org/abs/2105.01458
Autor:
Darwish, Mohamed Abdelmonim Hassan, Cox, Pepijn Bastiaan, Proimadis, Ioannis, Pillonetto, Gianluigi, Tóth, Roland
Publikováno v:
In Automatica November 2018 97:92-103
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Advances in Power Electronics; 2013, p1-7, 7p