Zobrazeno 1 - 10
of 21
pro vyhledávání: '"Profijt, H.B."'
Publikováno v:
In Journal of Magnetism and Magnetic Materials 2009 321(4):259-262
Publikováno v:
Journal of vacuum science and technology A, November/December, 37, 061302-1-061302-7
Hydrogen radicals play an important role in, e.g., the cleaning of extreme ultraviolet reflective mirrors. Therefore, there is a need to quantify the surface radical flux in the various (plasma) setups where these effects are studied. In this paper,
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::2d107302e791cd80509e28ccbbb4ba2a
http://resolver.tudelft.nl/uuid:34b9752b-9c43-463c-bcf2-8aea0c84d6d6
http://resolver.tudelft.nl/uuid:34b9752b-9c43-463c-bcf2-8aea0c84d6d6
Autor:
Profijt, H.B.
Publikováno v:
Nederlands Tijdschrift voor Natuurkunde, 79(8), 322-325
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=narcis______::70f2d25599f9b88704e22e1256ef2250
https://research.tue.nl/nl/publications/7226e811-e474-4d2a-bddc-80179933e5e3
https://research.tue.nl/nl/publications/7226e811-e474-4d2a-bddc-80179933e5e3
Publikováno v:
Nevac Blad, 50(3), 21-27
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=narcis______::240bbf1db6d1a63f249548bcaaca9c6a
https://research.tue.nl/nl/publications/b1f1f2ca-77ce-4e8d-b121-83567b799b2d
https://research.tue.nl/nl/publications/b1f1f2ca-77ce-4e8d-b121-83567b799b2d
Autor:
Profijt, H.B.
Atomic Layer Deposition (ALD) is a vapor-phase deposition technique in which ultrathin films are synthesized by repeating two subsequently executed half-cycles. Due to its characteristic self-limiting surface reactions, ALD offers sub-nanometer preci
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=narcis______::f8c2cf42b239368bbd8913bffabe9abe
https://research.tue.nl/nl/publications/bd515c49-f079-4060-bd44-c2f53281ba25
https://research.tue.nl/nl/publications/bd515c49-f079-4060-bd44-c2f53281ba25
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.