Výsledky vyhledávání - "Prochazka, Jerry"

Conference

Characterization of a 100-nm 1D pitch standard by metrological SEM and SFM.

Autor: Haessler-Grohne, Wolfgang, Dziomba, Thorsten, Frase, Carl G., Bosse, Harald, Prochazka, Jerry

Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov2004, Issue 1, p426-436, 11p

Zobrazit plný text záznamu

Conference

Sub-50-nm isolated line and trench width artifacts for CD metrology.

Autor: Tortonese, Marco, Lorusso, Gian, Blanquies, Rene M., Prochazka, Jerry, Grella, Luca

Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov2004, Issue 1, p647-656, 10p

Zobrazit plný text záznamu

Conference

NIST-traceable calibration of CD-SEM magnification using a 100-nm pitch standard.

Autor: Tortonese, Marco, Guan, Yu, Prochazka, Jerry

Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov2003, Issue 1, p711-718, 8p

Zobrazit plný text záznamu

Conference

100-nm-pitch standard characterization for metrology applications.

Autor: Tortonese, Marco, Prochazka, Jerry, Konicek, Paul, Schneir, Jason, Smith, Ian R.

Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov2002, Issue 1, p558-564, 7p

Zobrazit plný text záznamu

Conference

Measurement of a CD and sidewall angle artifact with two-dimensional CD AFM metrology.

Autor: Dixson, Ronald G., Sullivan, Neal T., Schneir, Jason, McWaid, Thomas H., Tsai, Vincent W., Prochazka, Jerry, Young, Michael

Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov1996, Issue 1, p572-588, 17p

Zobrazit plný text záznamu