Výsledky vyhledávání - "Prerna Sonthalia Goradia"

Tunable optical and electrical properties of thermal and plasma-enhanced atomic layer deposited Si-rich SixTi1−xO2 thin films

Autor: Jayeeta Biswas, Geetika Bajaj, Astha Tyagi, Prerna Sonthalia Goradia, Saurabh Lodha

Publikováno v: Journal of Applied Physics. 129:055303

Ternary dielectrics with varying composition formed by alloying two binary oxides can enable tunable optical and electrical properties for advanced technological applications. Atomic layer deposition (ALD) gives precise control over ternary dielectri

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::5a93c6177386f1f6d7608847914dde97
https://doi.org/10.1063/5.0028991

Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání