Рентгенівська діагностика структури приповерхневих шарів іонно-імплантованих монокристалічних матеріалів

Autor: Yaremiy, Ivan, Yaremiy, Sofiya, Povkh, Mariia, Vlasii, Olesia, Fedoriv, Vasyl, Luсas, Anna

Publikováno v: Eastern-European Journal of Enterprise Technologies; Том 6, № 12 (96) (2018): Materials Science; 50-57
Восточно-Европейский журнал передовых технологий; Том 6, № 12 (96) (2018): Материаловедение; 50-57
Східно-Європейський журнал передових технологій; Том 6, № 12 (96) (2018): Матеріалознавство; 50-57

A method for obtaining information on the distribution of the parameters of a crystalline structure in the thickness of a near-surface ion-implanted layer, types and characteristics of radiation defects (size, concentration, etc.) has been developed.

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=scientific_p::592c8713eb54fe63e9af72e36fc0bca1
http://journals.uran.ua/eejet/article/view/151806