Characterization of transport of neutral and ionized species in reactive-HiPIMS process (R-HiPIMS)

Autor: Boivin, D., Najah, A., Farsy, A. El, Noël, C., Cuynet, S., Belmonte, T., Poucques, L. De

Publikováno v: PLATHINIUM-Plasma Thin film International Union Meeting
PLATHINIUM-Plasma Thin film International Union Meeting, Sep 2019, Antibes, France

International audience

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https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-02372043

Caractérisation du transport des espèces neutres et ionisées en procédé réactif HiPIMS par fluorescence induite par diode laser

Autor: Boivin, D., Farsy, A. El, Poucques, L. De, Noël, C., Cuynet, S., Bougdira, J.

Publikováno v: 15ieme Congrès de la Société Française de Physique, division Plasmas
15ieme Congrès de la Société Française de Physique, division Plasmas, Jun 2018, Bordeaux, France

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https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-02372090

Diagnostic of a pulsed CH4-H2 plasma to improve microwave plasma assisted chemical vapour deposition process for diamond synthesis

Autor: Poucques, L. De, Henrion, G., Bougdira, J., Hugon, R.

Publikováno v: Surface and Coatings Technology; 2001, Vol. 146 Issue: 1 p586-592, 7p

Time-resolved plasma diagnostics for a better understanding of the improvement of pulsed MWPACVD of diamond.

Autor: Poucques, L. de, Bougdira, J., Hugon, R., Henrion, G., Alnot, P.

Publikováno v: Journal of Physics D: Applied Physics; 3/21/2001, Vol. 34 Issue 6, p1-1, 1p