Výsledky vyhledávání - "Pomerene, Andrew T. S."

Akademický článek

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Akademický článek

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Akademický článek

Effect of photo acid generator concentration on the process latitude of a chemically amplified resist.

Autor: Petrillo, Karen E., Pomerene, Andrew T. S., Babich, Edward D., Seeger, David E., Hofer, Don, Breyta, Gregory, Ito, Hiroshi

Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1994, Vol. 12 Issue 6, p3863-3867, 5p

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

0.5 μm GaAs metal semiconductor field effect transistor circuit fabrication using single layer I-line photoresists.

Autor: Pomerene, Andrew T. S., Greiner, James H., Connolly, John J.

Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1991, Vol. 9 Issue 6, p2898-2903, 6p

Zobrazit plný text záznamu